Chùa có 72 pho tượng, được tạc bằng gỗ mít sơn son thếp vàng. Nhiều pho tạc cao hơn người thật như 8 pho tượng Kim Cương và Hộ Pháp, cao chừng 3m, trang nghiêm phúc hậu.
Chùa Tây Phương được xây dựng lần đầu vào thời Cao Biền (865 - 875). Sang niên hiệu Chính Hòa (1680 - 1705), Tây Vương Trịnh Tạc cho sửa lại chùa và xây thêm tam quan. Sau lần trùng tu này, chùa bị phá. Đến triều Tây Sơn, vào hai năm 1788 - 1789, chùa được xây dựng lại trên nền cũ, tọa lạc tại núi Tây Phương, xã Thạch Xá, huyện Thạch Thất, tỉnh Hà Tây (cũ).